型號 真空室尺寸 | LH-800 | LH-1000 | LH-1250 |
¢800×1000MM | ¢1000×1000MM | ¢1250×1100MM |
鍍膜方式及主要配置 | 八個多弧靶 | 十個多弧靶 | 十二個多弧源 |
鍍膜方式及主要配置 | 電弧電源、燈絲電源、脈沖偏壓電源 |
工藝氣體控制 | 質(zhì)量流量計+電磁陶瓷閥 |
真空室結(jié)構(gòu) | 立式側(cè)(單)開門結(jié)構(gòu),后置抽氣系統(tǒng),雙層水冷 |
真空系統(tǒng)組成 | 分子泵+羅茨泵+機械泵(5.0×10-4PA),擴散泵+羅茨泵+機械泵(5.0×10-4PA) |
工件烘烤溫度 | 常溫到350度可調(diào)可控(PID控溫),輻射加熱 |
工件運動方式 | 公自轉(zhuǎn)變頻調(diào)速,0~20轉(zhuǎn)/分 |
測量方式 | 數(shù)顯復(fù)合真空計:測量范圍從大氣至1.0×10-5PA |
控制方式 | 手動/自動/PC/PLC+HMI/PC四種方式可選 |
備注 | 以上設(shè)備可按客戶實際及特殊工藝要求設(shè)計訂做 |